PVD · Titan · 物理气相沉积设备 · 官方热线 400-917-9917
| 公开成交价 | 价格待核验 |
|---|---|
| 价格口径 | 本型号暂无可核实的政府采购成交记录，已登记待核验，请以厂商/代理商实际报价为准 |
本机型暂无可核实的政府采购成交记录，价格待核验，请以厂商/代理商实际报价为准。
产品图取自厂商公开产品资料，仅用于机型识别参考； 价格以中国政府采购网公开中标/成交公告为准，同系列不同配置成交价存在差异，以实际询价为准。本站不参与整机交易。
| 仪器种类 | 磁控溅射镀膜机 |
|---|---|
| 应用领域 | 微电子学 |
| 基片尺寸 | 1-12英寸 |
| 靶材 | 1-6英寸 |
| 基片温度范围 | 室温-750度 |
| 成膜厚度均匀性 | 3% |
| 极限真空 | 10E-9Torr |
参数为厂商公开资料中列明的条目，厂商未公开的一律留空，不做推测填充。
PVD 产品公司生产各种高压和特高压磁控溅射靶枪，适用于各种靶材尺寸。泰坦磁控溅射源的直径范围从 1 英寸到 6 英寸不等。这些光源可以在磁铁就位的情况下烘烤到 200°C。我们靶枪的磁控管磁场设计可提供出色的薄膜均匀性和靶材利用率。这些靶枪基于模块化磁阵列，允许用户在几分钟内从平衡溅射模式切换到不平衡溅射模式。我们所有的磁控管都使用与水隔离且易于现场更换的钕铁硼磁体。钎焊组件将磁体与水隔离，因此没有水真空界面，从而消除了泄漏的可能性。…
以上简介摘自厂商公开产品资料（厂商公开产品资料（公司产品库收录，采集于 2025-2026）），本站未作改写。
| 品牌 | PVD |
|---|---|
| 型号 | Titan |
| 生产厂商 | 科睿设备有限公司 |
| 产地 | 美洲 |
| 产品库分类 | 半导体行业专用仪器设备 ／ 薄膜生长设备 ／ 物理气相沉积设备 |
| 数据来源 | 厂商公开产品资料（公司产品库收录，采集于 2025-2026） |
以下为仪器维修网按品类归纳的高频故障排查条目（平台记录，非厂商官方故障码），供对照初步判断。
常见原因：输出点烧毁、公共端接线松、程序逻辑异常
排查：强制输出测试→查公共端 → 处理：更换输出模块
常见原因：通讯口损坏、波特率/站号配置错、干扰
排查：替换线缆→核对参数→隔离干扰 → 处理：更换通讯模块
常见原因：驱动模块老化、电流互感器故障、参数漂移
排查：测输出电压→查模块 → 处理：更换驱动模块/互感器
常见原因：散热风扇损坏、风道堵塞、负载过大
排查：清灰→换风扇→核查负载 → 处理：更换风扇/散热组件
常见原因：编码器故障、动力线缆破损、驱动板损坏
排查：脱机测试→查编码器 → 处理：更换编码器/驱动板
常见原因：轴承磨损、编码器污染、增益参数不当
排查：盘车听音→清编码器→调增益 → 处理：更换轴承/编码器
常见原因：传感器膜盒受损、零点漂移、引压管堵塞
排查：标准源比对→排污 → 处理：重新校准/更换膜盒
常见原因：传感器污染、标气/标液过期、采样管路泄漏
排查：标定→查采样气密性 → 处理：清洗/更换传感器并标定
常见原因：屏幕排线松动、硬盘老化、电源异常
排查：外接显示测试→查电源 → 处理：更换屏/硬盘/电源
常见原因：触点烧蚀、线圈烧毁、机械卡阻
排查：观察触点→测线圈 → 处理：更换同型号器件
按 工业仪表 品类常见损耗件列出。标注区间的为原厂件公开核实价（品牌官方商城含税价／政府采购中标价）； 标「待核验」的表示该损耗件暂无可核实的公开报价，不臆造区间，需按序列号询价；整机维修报价请看需求大厅。
| 输出模块 | 块 | 待核验 · 以询价为准 |
| 通讯模块 | 块 | 待核验 · 以询价为准 |
| 散热风扇 | 只 | 待核验 · 以询价为准 |
| 电流互感器 | 只 | 待核验 · 以询价为准 |
| 编码器 | 只 | 待核验 · 以询价为准 |
| 采样管路 | 套 | 待核验 · 以询价为准 |
| 先确认 | 记录机身序列号（S/N）与故障现象照片，拨 400-917-9917 报品牌型号 |
|---|---|
| 服务方式 | 上门维修 / 送修 / 远程诊断（全国覆盖，400 统一派单） |
| 响应时效 | 工程师 1-4 小时响应，复杂故障 24 小时内出方案 |
| 配件 | 先按上表对号入座，避免盲买；可走配件商城询价 |
| 型号没收录 | 拍机身铭牌发 需求大厅，或拨 400-917-9917，核实后补录机型库 |
口径更新：2026-10-12｜官方唯一服务热线 400-917-9917（7×12 小时）
费用取决于故障现象与所需配件，本页价格信息仅为市场参考口径，具体以工程师检测后的报价为准；整机价格以政府采购公开中标成交价为参考（见本页价格区，口径更新：2026-10-12），未单独核实的型号以询价为准。官方唯一服务热线 400-917-9917。
拨打官方唯一服务热线 400-917-9917（7×12 小时）→ 说明品牌、型号与故障现象 → 平台按地区与品牌就近派单 → 确认报价后维修 → 完工出具检修记录，全程可追溯。
