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电镜图像质量的相当一部分差异来自制样而非仪器。充电、污染、形变与镀层颗粒度都会在图像上被放大,且无法在后期处理中消除。把制样规范固定下来,比反复调仪器更有效。
样品在电子束下的表现,很大程度上在进入样品室之前就已经决定了。
镀层解决的是电荷导出问题,但镀层本身也会成为新的限制因素。
透射样品的核心是厚度与完整性,两者都由切片环节决定。
这一环节同时关系到数据质量、仪器状态与人员安全。
| 适用机型 | 场发射 SEM(各品牌 FESEM 系列)、钨灯丝 SEM、TEM / STEM 系列(含热发射与场发射电子枪) |
|---|---|
| 内容性质 | 平台技术编辑整理的通用维护与排查做法,用于日常保养与故障初判;具体拆装与参数以随机手册为准 |
| 不含内容 | 客户单位信息、工程师个人信息、报价单与任何未公开的客户数据 |
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